产品介绍
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● 微米级运行平面度，极低的微观角度误差
● 高精度高刚度膜厚控制技术
● 缓冲振动产生的误差，保证高速高精度应用
● 低摩擦，低噪音，长寿命
● 适应能力强，可快速调整负载和速度能力产品参数
产品型号
iMotion-PRO300
iMotion-PRO400
iMotion-PRO500
行程(mm)
300
400
500
负载
30 kg
30 kg
30 kg
速度
400 mm/s
400 mm/s
500 mm/s
加速度
10 m/s²
10 m/s²
10 m/s²
重复精度
±0.25 μm
±0.25 μm
±0.25 μm
直线度
±0.75 μm
±1 μm
±1.25 μm
平面度
±0.75 μm
±1 μm
±1.25 μm
机械尺寸(mm)
660 × 350 × 115
760 × 350 × 115
860 × 350 × 115
