高精度运动台
产品中心
产品介绍
● 相邻物镜最快切换时间0.2s ● 重复精度±0.15μm ● 智能位置学习与标定 ● 支持手柄，支持RS232 ● 无磨损，高寿命，高洁净度
特征尺寸0.8μm
6英寸光刻面积
高精度步进光刻
安全品质
应用案例
